国家/地区 美国(39)
IPC部 C(39)
IPC大类 C23(39)
IPC小类 C23C(36) C01B(18) H01L(13)
B82Y(10) B01J(6) H01B(6)
C23F(5) B05D(4) B32B(4)
C30B(3) G03F(3) H01J(3)
B22F(2) C01G(2) C10M(2)
IPC C23C016/26(25) B82Y030/00(10) C01B032/186(9)
C01B032/182(8) B82Y040/00(6) H01B001/04(6)
H01L021/02(6) C01B032/184(5) C23C014/18(5)
C23C016/02(5) C23C016/04(5) C23C016/54(5)
H01L029/16(5) C01B032/194(4) H01B013/00(4)
发明人 FARQUHAR J J(3) SEAH C M(3) BERMAN D(2)
CHEN C(2) CHOI J(2) ERDEMIR A(2)
JANG B Z(2) LI X(2) LIN Y(2)
LIU P(2) MATSUMOTO T(2) SUMANT A V(2)
TU C(2) ZHAMU A(2)
公开年 2018(39)
申请年 2017(18)  2018(13)  2016(7) 
专利权人 FOURTE INT S.(3) NANOTEK INST.(2) TAIWAN SEMIC.(2) TOKYO ELECTR.(2)
UCHICAGO ARG.(2)