国家/地区 |
世界知识产权组织(21)![]() |
IPC部 |
C(21)![]() |
IPC大类 |
C23(21)
C01(19)
H01(11)
B82(7) B01(4) B32(3) C30(3) H05(3) C04(2) C08(2) |
IPC小类 |
C23C(21)
C01B(19)
H01L(9)
B82Y(6) B01J(4) B32B(3) C30B(3) C04B(2) C08K(2) H01B(2) H01M(2) H05K(2) |
IPC |
C23C016/26(21)![]() |
发明人 |
DAVIS M A(2)
JOUVRAY A(2)
TEO K B K(2)
|
公开年 | 2014(11) 2015(8) 2016(2) |
申请年 |
2014(21)![]() |
专利权人 | AIXTRON SE(2) DAVIS M A(2) SOLAN LLC(2) |
MATHARU J, THOMAS S, TEO K B K, JOUVRAY A, JOUBEUREI A, MATARU J, TOMASEU S
COLOSIMO N G R, COLOSIMO N
STRUDWICK A, SCHWAB M G, MUELLEN K, SACHDEV H, WEBER N, BINDER A, MULLEN K, STRUDWICK A J, WEBER N E
RIPPINGTON D E, JOUVRAY A, RUPESINGHE N L, TEO K, TEO K B K, RUPESINGHE N
VLASSIOUK I V, IVANOV I N, DATSKOS P G
LI A W, HUNT J H, HOWE W R
LIU X, MANLEY R G, MORENA R M, SONG Z