国家/地区 世界知识产权组织(21)
IPC部 C(21)
IPC大类 C23(21) C01(19) H01(11)
B82(7) B01(4) B32(3)
C30(3) H05(3) C04(2)
C08(2)
IPC小类 C23C(21) C01B(19) H01L(9)
B82Y(6) B01J(4) B32B(3)
C30B(3) C04B(2) C08K(2)
H01B(2) H01M(2) H05K(2)
IPC C23C016/26(21)
发明人 DAVIS M A(2) JOUVRAY A(2) TEO K B K(2)
公开年 2014(11) 2015(8) 2016(2)
申请年 2014(21)
专利权人 AIXTRON SE(2) DAVIS M A(2) SOLAN LLC(2)