国家/地区 英国(11)
IPC部 H(8) B(7) C(7)
IPC大类 H01(8) C01(7) B82(6)
C23(2)
IPC小类 C01B(7) H01L(7) B82Y(6)
B82B(2) C23C(2) H01B(2)
IPC B82Y040/00(5) C01B031/04(5) H01L021/02(5)
B82Y030/00(4) C01B031/02(4) H01L029/06(3)
H01L029/16(3) H01L029/78(3) H01L029/786(3)
B82B003/00(2) B82Y010/00(2) B82Y099/00(2)
C01B031/00(2) C01B032/00(2) C23C016/26(2)
发明人 CHANDRA B(4) TULEVSKI G S(4) AFZALIARDAKANI A(3)
DONG G(2)
公开年 2013(11)
申请年 2012(11)
专利权人 INT BUSINESS.(5) CHANDRA B(2) RIJKSUNIV LE.(2) TULEVSKI G S(2)