国家/地区 美国(40) 韩国(39) 中国(8) 欧洲专利局(EPO)(8)
IPC部 H(37) B(28) C(18)
G(6)
IPC大类 H01(37) B82(17) C01(15)
B01(8) B32(7) C23(6)
B29(2) B41(2) G01(2)
G03(2)
IPC小类 H01L(35) B82Y(15) C01B(15)
B32B(7) C23C(6) B01J(5)
H01B(4) B01D(3) B29C(2)
B41M(2) B82B(2) G01N(2)
G03F(2) H01J(2)
IPC H01L029/16(18) H01L029/78(14) C01B031/02(13)
H01L029/786(13) H01L029/66(12) H01L021/336(11)
H01L029/06(11) B82Y040/00(8) C01B031/04(8)
H01L021/02(8) B82Y099/00(6) H01L029/778(6)
B32B009/00(5) H01L029/10(5) B82Y010/00(4)
发明人 LEE J H(15) LEE J(13) CHUNG H(12)
HEO J(11) SEO D(11) BYUN K E(9)
CHOI J(9) CHUNG H J(9) HEO J S(9)
PARK S(9) PARK S J(9) BYUN K(8)
SONG H(8) SONG H J(8) LEE C(7)
公开年 2014(31) 2013(11) 2015(3)
申请年 2013(45)
专利权人 SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD(45)

LEE J, CHUNG H, PARK S, BYUN K, SEO D, SONG H, HEO J, LEE J H, CHUNG H J, PARK S J, BYUN K E, SONG H J, HEO J S, HUH J, JUNG H, SONG C, SAIL D