国家/地区 美国(10)
IPC部 C(10)
IPC大类 C30(10)
IPC小类 C30B(10)
IPC C30B029/02(8) C01B031/04(6) B82Y040/00(4)
H01L021/02(4) B82Y030/00(3) H01L029/16(3)
B32B009/00(2) C01B031/02(2) C30B025/18(2)
C30B029/64(2) H01L029/786(2)
发明人
公开年 2014(5) 2013(4)
申请年 2013(10)
专利权人