国家/地区 韩国(9)
IPC部 C(9)
IPC大类 C30(9) C01(6) H01(5)
C23(4) B82(3) B32(2)
IPC小类 C30B(9)
IPC C01B031/02(4) C01B031/04(4) C30B029/02(4)
B82Y040/00(3) C30B025/18(3) C30B029/36(3)
B32B009/00(2) B82Y030/00(2) C23C016/26(2)
C30B025/02(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2)
H01L029/786(2)
发明人 CHOI J W(2)
公开年 2014(6) 2013(2)
申请年 2013(9)
专利权人 UNIV KYUNGHE.(2)