国家/地区 美国(8) 中国(5) 韩国(5)
IPC部 C(12)
IPC大类 C23(12)
IPC小类 C23C(12) C01B(8) C25D(3)
C30B(3) H01L(3) B32B(2)
H01G(2) H01J(2) H05K(2)
IPC C23C014/34(12)
发明人 ZHANG X(2)
公开年 2016(6) 2017(5)
申请年 2016(12)
专利权人