国家/地区 中国(11) 美国(7) 日本(5) 欧洲专利局(EPO)(4) 韩国(4) 世界知识产权组织(4)
IPC部 C(16) B(6) H(3)
A(2)
IPC大类 C23(16)
IPC小类 C23C(16) C01B(9) B01J(3)
C30B(3) H01L(3) B82Y(2)
IPC C23C016/01(16)
发明人 LI X(3) ZHAO X(3) SU Z(2)
WANG R(2) ZHANG X(2) ZHANG Y(2)
ZHAO Y(2)
公开年 2017(10) 2016(5)
申请年 2016(16)
专利权人 UNIV CHONGQI.(2)