国家/地区 美国(37)
IPC部 C(37)
IPC大类 C23(37)
IPC小类 C23C(35) C01B(23) H01L(20)
H01B(9) H01M(7) B01J(5)
C30B(5) H01G(5) C23F(4)
C25D(4) H05K(4) B32B(3)
B82Y(3) H01J(3) C03C(2)
IPC C23C016/26(24) C01B031/04(15) H01L021/02(12)
H01L029/16(11) H01B001/04(9) C01B032/186(7)
C23C014/34(7) C23C016/02(7) C23C016/455(6)
C23C014/18(5) C30B025/18(5) C23C016/44(4)
C23C016/50(4) C23C028/00(4) H01L029/786(4)
发明人 CHEN C(4) LIN Y(3) JANG B Z(2)
KIM Y(2) LIN Z(2) TU C(2)
TZENG Y(2) ZHAMU A(2)
公开年 2017(17) 2016(13) 2018(6)
申请年 2016(37)
专利权人 JANG B Z(2) NANOTEK INST.(2) SAMSUNG ELEC.(2) TAIWAN SEMIC.(2)
UNIV NAT CHE.(2) ZHAMU A(2)