国家/地区 中国(82) 美国(23) 韩国(20) 世界知识产权组织(19) 台湾(9) 欧洲专利局(EPO)(8) 日本(7) 英国(3) 澳大利亚(2)
IPC部 C(120)
IPC大类 C23(120)
IPC小类 C23C(120) C01B(50) H01L(29)
B22F(9) B82Y(9) C30B(8)
H01J(7) H01M(7) B32B(5)
C22C(5) C22F(4) C25D(4)
H01B(4) A61B(3) B01J(3)
IPC C23C016/26(120)
发明人 MA Y(9) LI M(5) SHIN H(5)
BYUN K(4) LEE C(4) LEE E(4)
LI P(4) LI Y(4) LIU Z(4)
SHIN H J(4) WANG X(4) ZHANG J(4)
BYUN K E(3) CHEN Z(3) CHENG Y(3)
公开年 2021(55) 2022(53) 2023(12)
申请年 2021(120)
专利权人 APPLIED MATE.(5) SAMSUNG ELEC.(5) TOKYO ELECTR.(5) UNIV PEKING(5)
ZHEJIANG CHI.(5) BEIJING GRAP.(4) SHANGHAI XIN.(4) PARAGRAF LTD(3)
SUZHOU SHENG.(3) UNIV TIANJIN.(3) BEIJING TECH.(2) CHINA NUCLEA.(2)
CHONGQING XI.(2) DAEJOO ELECT.(2) LAM RES CORP(2) NINGBO INST .(2)
SONGSHAN LAK.(2) UNIV CHINA E.(2) UNIV DALIAN .(2) UNIV SINGAPO.(2)