国家/地区 韩国(5) 世界知识产权组织(4) 中国(2) 美国(2)
IPC部 C(13)
IPC大类 C23(13)
IPC小类 C23C(13)
IPC C23C016/26(7) H01L021/02(4) H01M010/052(4)
C01B032/186(3) C23C016/02(3) H01M004/38(3)
B82Y040/00(2) C23C014/06(2) C23C016/44(2)
C23C016/505(2) C30B029/02(2) H01L021/285(2)
H01L021/768(2) H01M004/36(2) H01M004/587(2)
发明人
公开年 2023(13)
申请年 2021(13)
专利权人