国家/地区 美国(8) 韩国(5) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(2)
IPC部 C(8)
IPC大类 C01(8) H01(6) C23(4)
IPC小类 C01B(8)
IPC C23C016/26(4) C01B032/186(3) C01B021/064(2)
C01B025/00(2) C01B032/182(2) C23C016/50(2)
C23C016/505(2) C23C016/511(2) H01L021/285(2)
H01L021/768(2) H01L023/532(2)
发明人 LEE C(8)
公开年 2022(4) 2021(2) 2023(2)
申请年 2021(8)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(5)