国家/地区 中国(8) 美国(7) 日本(5) 韩国(5) 世界知识产权组织(4) 加拿大(2) 英国(2) 台湾(2)
IPC部 C(25)
IPC大类 C01(25)
IPC小类 C01B(25)
IPC C01B032/186(11) C30B029/02(10) C30B025/18(8)
C01B032/194(6) C01B032/198(6) C01B032/184(5)
C23C016/26(4) C30B029/64(4) H01L021/02(4)
C23C016/02(3) C30B025/10(3) C30B033/04(3)
B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B032/05(2)
发明人 DIXON S(2) GUINEY I(2) KONDO O(2)
LIU J(2) THOMAS S(2) ZHANG S(2)
公开年 2022(12) 2021(10) 2023(3)
申请年 2021(25)
专利权人 FUJITSU LTD(2) PARAGRAF LTD(2) UNIV SUNGKYU.(2)