国家/地区 韩国(9) 美国(5) 中国(4) 世界知识产权组织(3)
IPC部 C(9)
IPC大类 C01(9) H01(5) B01(4)
C23(4)
IPC小类 C01B(9)
IPC C01B031/04(6) C01B032/186(4) C23C016/26(4)
C01B031/02(2) C01B032/182(2) H01L029/16(2)
H01L051/00(2)
发明人 CHO K(9)
公开年 2016(3) 2017(2)
申请年 2015(4)  2014(2) 
专利权人 CENT ADVANCED SOFT ELECTRONICS(9)