国家/地区 中国(14)
IPC部 C(9) H(6) B(2)
IPC大类 C01(6) H01(6) C30(3)
IPC小类 C01B(6) H01L(5) C30B(3)
IPC C01B031/04(5) C30B023/02(3) C01B032/184(2)
C30B029/02(2) H01L031/0352(2)
发明人 CHEN X(14)
公开年 2016(5) 2013(2)
申请年 2014(4)  2015(3)  2009(2)  2011(2) 
专利权人 CHINESE ACAD SCI PHYSICS INST(14)