国家/地区 世界知识产权组织(13)
IPC部 H(10) C(9) B(7)
IPC大类 C01(9) H01(9) B82(5)
IPC小类 C01B(9) H01L(9) B82Y(5)
IPC C01B031/02(8) H01L029/16(7) H01L029/06(6)
H01L029/786(6) C01B031/04(5) H01L021/02(5)
H01L021/336(5) H01L029/66(5) H01L051/05(5)
H01L051/30(5) H01L029/778(4) B82Y030/00(3)
B82Y040/00(3) C01B032/182(3) H01L021/00(3)
发明人 SATO S(8) HAYASHI K(3) KONDO D(3)
YAMAGUCHI J(3) ASANO K(2) IWAI T(2)
公开年 2014(3) 2010(2) 2013(2)
申请年 2009(3)  2014(3)  2013(2) 
专利权人 FUJITSU LTD(13)