| 国家/地区 | 中国(7) |
| IPC部 |
G(3)
H(3)
C(2)
|
| IPC大类 |
H01(3)
C01(2)
G02(2)
|
| IPC小类 |
H01L(3)
C01B(2)
G02F(2)
|
| IPC | C01B032/194(2) H01L045/00(2) |
| 发明人 |
LI B(3)
LI Z(3)
LIU R(3)
OU X(3) SUN F(3) TANG B(3) XIE L(3) YANG Y(3) ZHANG P(3) JIE X(2) LI N(2) LU W(2) XIA Y(2) |
| 公开年 |
2021(7)
|
| 申请年 | 2021(3) 2019(2) 2020(2) |
| 专利权人 |
INST MICROELECTRONICS CHINESE ACAD SCI(7)
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LI Z, XIE L, LI B, LIU R, OU X, SUN F, ZHANG P, TANG B, YANG Y
LI Z, XIE L, OU X, LI B, LIU R, ZHANG P, SUN F, TANG B, YANG Y
LIU M, LV H, ZHENG X, LI X, DONG D, YU J, XU X
ZHAO B, BI J, ZHU W, XI K, HAN T, TIAN M
LU W, XIA Y, LI N, ZHAO L, LENG X, HE M, JIE X
YANG Y, TANG B, ZHANG P, OU X, SUN F, LI B, LIU R, HUANG K, XIE L, LIU D, LI Z
