国家/地区 韩国(13) 美国(6) 世界知识产权组织(4)
IPC部 C(14) B(8) H(6)
IPC大类 C23(14) C01(10) H01(6)
B01(5) B05(2) B32(2)
B82(2)
IPC小类 C23C(14)
IPC C01B031/02(10) C23C016/26(10) C23C016/06(4)
C23C016/44(4) C01B031/04(3) B01J019/08(2)
B01J023/755(2) B05D005/12(2) B32B009/00(2)
B82Y040/00(2) C23C016/02(2) C23C016/455(2)
H01B001/04(2) H01L021/00(2) H01L021/02(2)
发明人 JEON S(3) KIM S O(3) LEE J(3)
LEE K J(3) BYUNG J C(2) CHO B J(2)
CHOI I S(2) HWANG J O(2) LEE D H(2)
MUN J H(2) OH S(2) SEOK W J(2)
公开年 2013(5) 2012(3) 2014(3) 2015(2)
申请年 2013(5)  2012(4)  2011(3) 
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(14)