国家/地区 韩国(23) 美国(4) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(14) H(11) B(10)
G(4)
IPC大类 C01(11) H01(11) B82(7)
G01(4) B01(3) C09(2)
C23(2)
IPC小类 C01B(11) B82B(6) H01L(5)
G01N(4) B01J(3) H01B(3)
C01G(2) C23C(2)
IPC C01B031/04(8) B82B003/00(6) C01B031/02(5)
C23C016/26(2) H01L029/786(2) H01L033/00(2)
发明人 JEON S(3) JEON S W(3) LEE J S(3)
OH I K(3) BAEK J W(2) KIM G(2)
KIM J D(2) LEE K S(2)
公开年 2015(23)
申请年 2014(16)  2013(7) 
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(23)