国家/地区 中国(9)
IPC部 G(5) H(3) B(2)
IPC大类 G01(4) H01(3) B82(2)
IPC小类 G01N(4) B82Y(2) H01L(2)
IPC G01N021/35(3) B82Y040/00(2) H01L031/0236(2)
H01L031/101(2) H01L031/18(2)
发明人 HU D(9)
公开年 2018(4) 2016(3)
申请年 2015(3)  2018(3)  2019(2) 
专利权人 NAT CENT NANOSCIENCE TECHNOLOGY CHINA(9)