| 国家/地区 | 日本(7) 世界知识产权组织(6) 台湾(5) 美国(3) |
| IPC部 |
H(8)
C(4)
B(3)
|
| IPC大类 |
H01(8)
C01(4)
B82(3)
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| IPC小类 |
H01L(8)
C01B(4)
B82Y(3)
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| IPC |
H01L021/28(8)
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| 发明人 |
KAWABATA A(2)
SATO S(2)
YAMAGUCHI J(2)
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| 公开年 | 2014(4) 2015(2) |
| 申请年 | 2013(4) 2014(3) |
| 专利权人 |
NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(8)
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WENHSIN C, TOSHIFUMI I, NAOYA O, YUTA S, SHOGO H
SATO S, YAMADA A, YAGI K, TAKAHASHI M
NAKAHARAI S, NAKABARAI S
