国家/地区 日本(7) 世界知识产权组织(6) 台湾(5) 美国(3)
IPC部 H(8) C(4) B(3)
IPC大类 H01(8) C01(4) B82(3)
IPC小类 H01L(8) C01B(4) B82Y(3)
IPC H01L021/28(8)
发明人 KAWABATA A(2) SATO S(2) YAMAGUCHI J(2)
公开年 2014(4) 2015(2)
申请年 2013(4)  2014(3) 
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(8)