国家/地区 日本(10) 台湾(6) 世界知识产权组织(6) 美国(4)
IPC部 C(7) H(7) B(5)
IPC大类 C01(7) H01(6) B82(4)
IPC小类 C01B(7) H01L(6) B82Y(4)
IPC C01B031/02(7) B82Y040/00(4) H01L021/28(4)
H01L021/336(4) H01L029/06(4) B82Y030/00(3)
C01B031/04(3) H01L029/78(3) H01L029/786(3)
C01B032/182(2) H01L021/285(2) H01L021/3205(2)
H01L021/768(2) H01L023/532(2) H01L029/16(2)
发明人 HASEGAWA M(4) ISHIHARA M(3) SATO S(3)
YAMADA T(3) KAWABATA A(2) OKIKAWA Y(2)
公开年 2014(11)
申请年 2013(7)  2012(2)  2014(2) 
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(11)