国家/地区 美国(19) 韩国(16) 中国(6) 欧洲专利局(EPO)(5) 日本(4)
IPC部 H(16) C(9) B(6)
G(3) A(2)
IPC大类 H01(16) C01(9) B82(6)
C23(3) G03(3) A61(2)
IPC小类 H01L(13) C01B(9) B82Y(5)
C23C(3) G03F(3) H01M(3)
IPC C01B031/04(8) H01L029/16(7) H01L021/02(5)
B82Y030/00(4) H01L029/786(4) B82Y040/00(3)
G03F007/09(3) G03F007/11(3) H01L029/06(3)
H01L029/66(3) H01L029/78(3) H01M004/38(3)
C23C016/02(2) H01L021/027(2) H01L021/20(2)
发明人 PARK S(8) PARK S J(7) SHIN H(6)
SHIN H J(5) KIM S(4) LEE J(4)
CHO Y(3) CHO Y C(3) KIM H(3)
KIM H W(3) KIM S W(3) LEE J H(3)
LEE S(3) CHOI J(2) HEO J(2)
公开年 2016(19)
申请年 2015(12)  2016(7) 
专利权人 SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD(19)

SHIN H, KIM S, SEOL M, PARK S, CHO Y, SHIN H J, KIM S W, SEOL M S, PARK S J, CHO Y C, XUE M, ZHAO L

KIM J, YU N, KIM B, YI S, CHOI J, KIM J H, YU N R, KIM B D, YI S S, CHOI J S