国家/地区 中国(10)
IPC部 H(6) G(5) B(3)
C(3)
IPC大类 H01(6) G01(5) B82(3)
C23(3)
IPC小类 H01L(5) B82Y(3) C23C(3)
G01D(2) G01N(2)
IPC C23C016/26(3) H01L031/09(3) B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2) G01D005/26(2) H01L031/0216(2)
H01L031/028(2) H01L031/18(2)
发明人 ZHANG L(5) GAO A(4) LI T(4)
SONG H(4) TONG J(4) WANG Y(4)
ZHANG D(4)
公开年 2017(5) 2018(5)
申请年 2017(10)
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(10)