国家/地区 中国(29) 世界知识产权组织(6) 美国(3) 日本(2)
IPC部 C(22) H(10) B(6)
IPC大类 C01(17) H01(10) C23(7)
B82(4) C30(4) C09(3)
B01(2)
IPC小类 C01B(17) H01L(10) C23C(7)
B82Y(4) C30B(4) C09K(3)
IPC C01B031/04(15) C23C016/26(6) B82Y040/00(4)
C23C016/02(4) C09K011/65(3) H01L021/28(3)
H01L021/336(3) B82Y030/00(2) C01B031/02(2)
C01B032/186(2) C23C014/06(2) C23C016/50(2)
C30B023/00(2) C30B025/00(2) C30B029/02(2)
发明人 JIANG M(30)
公开年 2014(10) 2015(6) 2012(5) 2016(5) 2013(4)
申请年 2013(7)  2014(7)  2015(6)  2012(5)  2016(3)  2011(2) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(30)