国家/地区 中国(10)
IPC部 G(6) C(5)
IPC大类 G01(6) C01(3) C23(2)
C30(2)
IPC小类 G01N(5) C01B(3) C23C(2)
C30B(2)
IPC C01B031/04(3) C23C016/56(2) G01N001/32(2)
发明人 WANG B(10)
公开年 2013(4) 2014(3) 2015(3)
申请年 2014(5)  2013(4) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(10)