国家/地区 中国(12)
IPC部 G(11) B(2) H(2)
IPC大类 G01(11) H01(2)
IPC小类 G01N(9) G01R(2) H01L(2)
IPC G01N027/30(3) G01N027/48(3) G01N033/574(2)
G01R033/02(2)
发明人 ZHAO J(12)
公开年 2016(3) 2017(2) 2022(2)
申请年 2022(3)  2014(2)  2015(2) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(12)