国家/地区 中国(15)
IPC部 G(7) C(5) H(5)
B(2)
IPC大类 G01(6) H01(5) C01(3)
C23(3) C30(2)
IPC小类 G01N(5) H01L(5) C01B(3)
C23C(3) C30B(2)
IPC C01B031/04(2) C23C016/26(2) G01N027/00(2)
H01L043/06(2) H01L043/14(2)
发明人 XIE X(7) WANG H(6) JIANG M(5)
XIE H(4) DI Z(3) JIN Q(3)
MA J(3) WANG G(3) WANG X(3)
WU T(3) XUE Z(3) ZHANG M(3)
ZHAO J(3) CHEN D(2) DING G(2)
公开年 2016(16)
申请年 2015(7)  2016(7)  2014(2) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(16)