国家/地区 世界知识产权组织(12) 美国(10)
IPC部 H(11) C(10) B(6)
IPC大类 H01(11) C01(9) B82(5)
C23(2)
IPC小类 H01L(10) C01B(9) B82B(3)
B82Y(2) C23C(2)
IPC H01L021/02(6) C01B031/04(5) C01B031/02(4)
H01L021/20(4) H01L029/16(4) H01L029/66(4)
B82B003/00(3) B82Y040/00(2) C23C016/26(2)
H01L029/06(2) H01L029/778(2)
发明人 DAVIS M A(17)
公开年 2014(15)
申请年 2014(11)  2013(5) 
专利权人 SOLAN LLC(17)