国家/地区 世界知识产权组织(10) 美国(4)
IPC部 C(7) H(7) B(4)
IPC大类 H01(7) C01(6) B82(4)
C23(2)
IPC小类 C01B(6) H01L(6) B82B(3)
C23C(2)
IPC C01B031/02(4) B82B003/00(3) H01L021/02(3)
H01L021/20(3) C01B031/04(2) C23C016/26(2)
H01L029/16(2) H01L029/66(2)
发明人 DAVIS M A(11)
公开年 2014(11)
申请年 2014(11)
专利权人 SOLAN LLC(11)