| 国家/地区 | 世界知识产权组织(11) 美国(8) |
| IPC部 |
C(10)
H(9)
B(6)
|
| IPC大类 |
C01(9)
H01(9)
B82(5)
C23(2) |
| IPC小类 |
C01B(9)
H01L(8)
B82B(3)
B82Y(2) C23C(2) |
| IPC |
C01B031/04(5)
C01B031/02(4)
H01L021/02(4)
B82B003/00(3) H01L021/20(3) H01L029/66(3) B82Y040/00(2) C23C016/26(2) H01L029/06(2) H01L029/16(2) |
| 发明人 | DAVIS M A(15) |
| 公开年 |
2014(15)
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| 申请年 | 2014(11) 2013(4) |
| 专利权人 |
SOLAN LLC(15)
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