国家/地区 日本(8) 世界知识产权组织(6) 韩国(4) 美国(4)
IPC部 C(8) H(8)
IPC大类 C23(8) H01(8) C01(6)
H05(4)
IPC小类 C23C(8) H01L(8) C01B(6)
H05H(4) H01J(2)
IPC C23C016/26(8) H01L021/205(7) C01B032/186(5)
C23C016/44(4) C23C016/511(4) H05H001/46(4)
C23C016/02(2) H01J037/32(2) H01L021/02(2)
H01L021/285(2) H01L021/314(2) H01L021/3205(2)
H01L021/768(2) H01L023/532(2)
发明人 WADA M(8)
公开年 2022(4) 2021(2) 2023(2)
申请年 2022(5)  2020(2) 
专利权人 TOKYO ELECTRON LTD(8)