国家/地区 中国(15)
IPC部 H(11) C(3) G(3)
IPC大类 H01(11) C30(3) C23(2)
IPC小类 H01L(8) C30B(3) H01Q(3)
C23C(2)
IPC H01L021/335(4) H01L029/778(4) C30B025/18(2)
C30B028/14(2) C30B029/16(2) H01L021/02(2)
H01Q017/00(2)
发明人 HAO Y(9) ZHANG J(8) MA P(5)
NING J(4) WANG D(4) HAN G(2)
LIU Y(2) WANG Y(2) YANG R(2)
ZHANG S(2)
公开年 2022(15)
申请年 2022(10)  2021(5) 
专利权人 UNIV XIDIAN(15)