国家/地区 中国(10)
IPC部 C(5) H(5) B(3)
IPC大类 H01(4) B01(3) C01(3)
C02(2)
IPC小类 B01J(3) C01B(3) C02F(2)
H01L(2) H01M(2)
IPC C01B031/04(3)
发明人 CHEN D(10)
公开年 2013(10)
申请年 2012(5)  2013(5) 
专利权人 CHINESE ACAD.(2) INST MICROEL.(2)