国家/地区 中国(8)
IPC部 H(7)
IPC大类 H01(7)
IPC小类 H01L(6)
IPC H01L027/11521(2) H01L029/24(2) H01L045/00(2)
发明人 CHEN L(8)
公开年 2021(3) 2015(2) 2020(2)
申请年 2015(3)  2020(3)  2021(2) 
专利权人 UNIV FUDAN(8)