| 国家/地区 | 韩国(7) 美国(5) 欧洲专利局(EPO)(2) |
| IPC部 | H(7) C(4) |
| IPC大类 | H01(7) C23(2) |
| IPC小类 | H01L(5) C23C(2) |
| IPC |
H01L021/02(3)
H01L029/16(3)
C23C016/02(2)
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| 发明人 |
CHO Y(9)
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| 公开年 | 2021(6) 2020(2) |
| 申请年 |
2020(9)
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| 专利权人 | SAMSUNG ELEC.(5) |
CHOI S T, LEESEUNGMIN, CHO Y, HEO N H, IN J, DUONG Q B
LEE H, WOO C Y, HONG S G, CHO Y
PARKJUNGHOON, RANA M, CHO Y
LEE M, SEOL M, CHO Y, SHIN H
CHO Y, LEE C, KIM C, SHIN H, SHIN K, NGUYEN V L, SHIN K W, SHIN H J, LEE C S, CHO Y C
BYUN K, KIM H, PARK T, SHIN H, AHN W, LEEM M, CHO Y, JIN H, PIAO T, SHEN X, LIN M, ZHAO L, BYUN K E, KIM H S, PARK T J, SHIN H J, AHN W S, CHO Y C
CHO Y, OH D, CHU H, SOH H, CHOI Y, HWANG Y, KOO C Y, OH D R, CHU H Y, CHOI Y Y, YUBIN H
SHIN K, LEE J, NAM S, SHIN H, LIM H, JUNG A, BYUN K, CHO Y, SHIN K W, LEE J H, NAM S G, SHIN H J, LIM H S, JUNG A R, BYUN K E, LEE J I, CHO Y C
