国家/地区 美国(9) 世界知识产权组织(8) 欧洲专利局(EPO)(7) 中国(5) 加拿大(2) 印度(2) 日本(2) 韩国(2)
IPC部 H(9) B(6) G(5)
C(2)
IPC大类 H01(9) B82(6) G01(4)
C01(2)
IPC小类 H01L(9) B82Y(6) G01J(4)
C01B(2)
IPC H01L029/16(5) H01L029/66(5) B82Y040/00(4)
H01L029/786(4) H01L031/0352(4) B82Y010/00(3)
H01L029/06(3) H01L029/778(3) H01L031/028(3)
H01L031/113(3) B82Y015/00(2) B82Y020/00(2)
G01J001/44(2) H01L021/02(2) H01L021/04(2)
发明人 COLLI A(9)
公开年 2013(2) 2016(2)
申请年 2011(2)  2015(2) 
专利权人 NOKIA TECHNO.(8) NOKIA CORP(5) EMBERION OY(2)

KAERKKAEINEN A M, HAQUE S M, COLLI A, PASANEN P M, JOHANNES K L M, UUSITALO M A, LEHTINIEMI R K, KARKKAAINEN A M, HAQUE S, KARKKAINEN L M J, KARKKAINEN L, UUSITALO M, LEHTINIEMI R, KARKKAINEN L M Y, KAERKKAEINEN L M J