国家/地区 中国(11)
IPC部 C(9) H(3)
IPC大类 C01(7) H01(3) C23(2)
IPC小类 C01B(7) H01L(3) C23C(2)
IPC C01B031/04(4) C01B032/186(4) C23C016/26(2)
H01L021/02(2)
发明人 DI Z(11)
公开年 2015(5) 2017(4) 2016(2)
申请年 2015(11)
专利权人 SHANGHAI INS.(10)