国家/地区 中国(27)
IPC部 C(19) H(13)
IPC大类 C01(13) H01(13) C04(7)
IPC小类 C01B(13) H01L(11) C04B(7)
IPC C01B031/04(12) C04B041/50(7) C04B041/85(7)
H01L029/786(7) H01L021/336(5) H01L021/04(3)
H01L021/205(2) H01L021/324(2)
发明人 GUO H(28)
公开年 2013(28)
申请年 2013(17)  2012(10) 
专利权人 UNIV XIDIAN(24)