国家/地区 中国(9)
IPC部 H(5) C(4)
IPC大类 H01(5) C01(3)
IPC小类 H01L(5) C01B(3) H01Q(2)
IPC C01B031/04(2) H01L027/144(2) H01Q001/22(2)
发明人 HE Z(9)
公开年 2013(9)
申请年 2013(9) 
专利权人 CHINA ELECTR.(5) 13TH RES INS.(2) HE Z(2)