国家/地区 韩国(6) 美国(5) 中国(2)
IPC部 H(5) C(4)
IPC大类 H01(5) C01(3) C23(2)
IPC小类 H01L(5) C01B(3) C23C(2)
H01B(2)
IPC C01B032/182(2) C01B032/186(2) C23C016/26(2)
H01B001/04(2) H01L021/02(2) H01L021/324(2)
发明人 KIM C(7)
公开年 2021(7)
申请年 2020(4)  2021(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(5)