国家/地区 美国(36)
IPC部 H(27) C(15) B(7)
G(6)
IPC大类 H01(25) C01(14) C23(8)
G06(5) B82(4) H05(3)
B01(2) B32(2) H10(2)
IPC小类 H01L(25) C01B(14) C23C(8)
B82Y(4) G06F(3) G06N(3)
H05K(3) B32B(2) H01B(2)
H10B(2)
IPC H01L029/16(11) C01B032/186(10) H01L021/02(9)
H01L029/06(8) C23C016/26(7) C01B032/182(5)
H01L021/285(5) H01L023/532(5) H01L029/423(5)
H01L029/786(5) C23C016/50(4) H01L021/768(4)
C23C016/02(3) C23C016/513(3) H01L021/324(3)
发明人 KIM C(36)
公开年 2023(11) 2020(7) 2021(5) 2022(4) 2015(3) 2017(3)
申请年 2022(8)  2021(7)  2019(5)  2020(5)  2014(3)  2016(3) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(23) KOREA INST S.(4) DELL PROD LP(2) KOREA ADVANC.(2)
UNIV SUNGKYU.(2)