国家/地区 美国(13) 韩国(12) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(2)
IPC部 H(13) B(5) C(4)
IPC大类 H01(13) B82(2) C01(2)
C23(2) H03(2)
IPC小类 H01L(10) B82B(2) C01B(2)
C23C(2) H01J(2) H03K(2)
IPC H01L021/02(3) H01L021/20(3) H01L021/336(3)
H01L027/15(3) H01L029/06(3) H01L029/778(3)
H01L033/00(3) B82B003/00(2) C01B031/02(2)
H01L021/00(2) H01L021/78(2) H01L025/075(2)
H01L025/16(2) H01L029/78(2) H01L029/786(2)
发明人 KIM D(13)
公开年 2011(3) 2009(2) 2021(2) 2023(2)
申请年 2010(3)  2022(3)  2020(2) 
专利权人 SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD(13)

HEO J S, SEO S, KIM D, WOO Y, CHUNG H, JEONG H J, KIM T C, SEO S A, U Y S, CHUNG H J, KIM D C, WOO Y S, HEO J