国家/地区 韩国(11) 美国(2)
IPC部 C(7) G(5) B(3)
H(3)
IPC大类 G03(4) C08(3) H01(3)
B01(2) C01(2) C09(2)
IPC小类 G03F(4) C08K(3) C08L(3)
B01J(2) C01B(2) H01L(2)
IPC G03F001/22(4) G03F001/62(4) C08K003/04(3)
C01B032/184(2) C01B032/194(2) G03F001/64(2)
G03F007/20(2)
发明人 KIM S K(11)
公开年 2022(11)
申请年 2021(5)  2020(3)  2022(3) 
专利权人 KOREA ELECTR.(4)