国家/地区 韩国(11) 美国(10) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(3)
IPC部 H(10) B(9) C(6)
IPC大类 H01(10) C01(6) B32(4)
B82(4) C23(2)
IPC小类 H01L(9) C01B(6) B32B(4)
B82Y(3) C23C(2)
IPC C01B031/02(5) H01L029/66(5) H01L029/78(5)
H01L021/02(4) H01L021/336(4) H01L029/16(4)
B32B009/00(2) B32B037/00(2) B82Y040/00(2)
C01B031/04(2) H01L021/20(2)
发明人 KIM Y(13)
公开年 2014(13)
申请年 2013(7)  2014(4)  2012(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(6) KIM Y(2) KOREA ELECTR.(2) LEE J(2)
STEVENS INST.(2)