国家/地区 日本(8)
IPC部 H(8) B(6) C(4)
G(3)
IPC大类 H01(8) B82(6) C01(4)
G01(3)
IPC小类 H01L(8) B82Y(6) C01B(4)
G01J(3)
IPC B82Y040/00(4) H01L029/16(4) G01J001/02(3)
H01L021/3205(3) H01L021/768(3) H01L023/532(3)
H01L029/786(3) B82Y020/00(2) B82Y030/00(2)
C01B031/02(2) H01L021/02(2) H01L021/04(2)
H01L021/20(2) H01L021/28(2) H01L021/336(2)
发明人 KONDO D(8)
公开年 2023(2)
申请年 2021(3)  2009(2) 
专利权人 FUJITSU LTD(8)