国家/地区 美国(18) 韩国(14) 中国(6) 欧洲专利局(EPO)(5)
IPC部 H(19) G(5) C(3)
IPC大类 H01(18) C01(3) G11(3)
G06(2)
IPC小类 H01L(17) C01B(3) G11C(3)
G06N(2)
IPC H01L029/16(9) H01L029/06(7) H01L029/417(7)
H01L029/24(6) H01L029/423(6) H01L029/66(6)
H01L029/778(6) H01L029/78(6) H01L029/786(6)
H01L021/02(5) H01L021/336(5) H01L029/10(5)
H01L029/792(4) H01L029/165(3) H01L029/45(3)
发明人 LEE M(21)
公开年 2021(7) 2022(7) 2015(3) 2023(3)
申请年 2021(9)  2020(4)  2022(3)  2014(2) 
专利权人 SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD(21)