国家/地区 中国(18)
IPC部 C(9) H(9)
IPC大类 C01(9) H01(9) C04(3)
IPC小类 C01B(9) H01L(8) C04B(3)
IPC C01B031/04(9) H01L029/786(7) H01L021/336(5)
C04B041/50(3) C04B041/85(3) H01L021/04(2)
发明人 LEI T(18)
公开年 2013(17)
申请年 2013(18)
专利权人 UNIV XIDIAN(16)