国家/地区 中国(13)
IPC部 C(7) H(6) G(2)
IPC大类 H01(6) C30(3) C09(2)
C23(2) G01(2)
IPC小类 H01L(5) C30B(3) C09K(2)
C23C(2) G01N(2)
IPC H01L021/335(3) H01L029/778(3) C30B025/18(2)
C30B028/14(2) C30B029/16(2) H01L021/02(2)
发明人 MA P(13)
公开年 2022(13)
申请年 2022(8)  2021(5) 
专利权人 UNIV XIDIAN(5)