国家/地区 日本(23) 美国(12) 世界知识产权组织(9) 中国(6) 欧洲专利局(EPO)(4) 台湾(4)
IPC部 H(19) C(14) B(7)
G(7)
IPC大类 H01(19) C01(13) B82(7)
G01(7) C08(3) C07(2)
IPC小类 H01L(18) C01B(13) B82Y(7)
G01N(4) C08G(2) G01R(2)
IPC H01L029/786(12) H01L021/336(11) H01L029/16(10)
H01L029/66(9) H01L051/05(9) H01L051/30(9)
C01B031/02(8) H01L021/02(7) H01L029/06(7)
C01B032/182(6) H01L029/778(6) H01L021/28(5)
H01L051/40(5) B82Y030/00(4) C01B031/04(4)
发明人 SATO S(24)
公开年 2014(3) 2015(3) 2018(3) 2012(2) 2013(2) 2016(2) 2017(2) 2020(2)
申请年 2016(5)  2014(4)  2009(3)  2011(2)  2015(2)  2020(2) 
专利权人 FUJITSU LTD(22) DOKURITSU GY.(5) NAT INST ADV.(4)